Fakulteta za strojništvo
Univerza Maribor
Rules
Only words with 2 or more characters are accepted
Max 200 chars total
Space is used to split words, "" can be used to search for a whole string (not indexed search then)
AND, OR and NOT are prefix words, overruling the default operator
+/|/- equals AND, OR and NOT as operators.
All search words are converted to lowercase.
FEI Sirion 400 NC
Visokoločljivi vrstični elektronski mikroskop s poljsko emisijo elektronov, ki omogoča izredno velike povečave (do milijonkrat) in visoko ločljivost (1 nm).
Opremljen je z analizatorjem za mikrokemične analize EDS (Energy Dispersive Spectroscopy), Oxford Instruments.
Ima Schottkyjev izvir elektronov, kjer s poljsko emisijo dobimo curek elektronov z majhnim premerom in veliko gostoto.
Rezultat je visoka ločljivost, tudi pri majhnih napetostih:
- 1,0 nm pri 15 kV
- 2,0 nm pri 1 kV
To je glavna karakteristika in največja prednost tega mikroskopa.
Zaradi dobre ločljivosti pri majhni napetosti, lahko poleg prevodnih materialov opazujemo tudi neprevodne vzorce in materiale z majhnim atomskim številom v visokem vakuumu ali nizkem vakuumu (do 130 Pa).
Mikroskop je opremljen z detektorjem za sekundarne (topografski kontrast) in odbite elektrone (topografski in Z-kontrast).
Namenjen je za karakterizacijo prevodnih in neprevodnih vzorcev.
Tehnični podatki
Schottky-jev izvir elektronov, ki omogoča ločljivost;
- 1,0 nm pri 15 kV;
- 2,0 nm pri 1 kV;
- pospeševalna napetost od 200 V do 30 kV;
- povečave od 30 x do 1 000 000 x;
- pet motoriziranih osi (x = 100 mm, y = 100 mm, z = 60 mm, nagib (-15 do 75 stopinj) in rotacija (n x 360 stopinj));
- velikost komore, ki je opremljena z infrardečo kamero je 379 mm od leve proti desni.
INCA 350 (EDS-analizator)
Mikroskop je opremljen za mikrokemično analizo z energijsko disperzijskim spektrometrom EDS Oxford INCA 350.
Omogoča kvalitativno in kvantitativno mikrokemično analizo v točki in na ploskvi, ter kvalitativno linijsko analizo in ploskovno porazdelitev elementov (mapping analiza).
Analiziramo lahko elemente od berilija do urana.
Osnovne tehnične karakteristike:
- ločljivost EDS detektorja je 129 pri Mn Kα